置換クリーン空調システムに関する検討
本システムは、換気性能に優れる置換換気の技術をクリーンルームに応用したものである。生産装置などから発生する熱上昇流とともに浮遊微小粒子を空間上部へ搬送するため少ない風量で確実に清浄化でき、省エネである。これまでクリーン空調の分野では、床に堆積した粒子が気流の影響で舞い上がると考えられていたため、空間下部からの清浄空気の供給は行われていなかった。これに対し、当社で行った堆積粒子の舞い上がりに関する研究の結果、クリーンルーム内の微風速（1.0m/s 以下）では堆積粒子が舞い上がらないことが明らかになったため実現可能となった独創性の高いシステムである。
Study on displacement air cleaning system
The displacement air-cleaning system was developed. This system is a new air-cleaning system that applies the characteristics of displacement ventilation. By supplying clean and cold air from inlets arranged near a floor or on a ceiling, the air can be uniformly distributed without a duct to a cleanroom. It is a system which can secure a cleanliness by a small air change rate under the influence of the ascending airflow resulting from heat generation from persons and equipment. In this paper, the characteristics of this system and the experimental results of the recovery performance test and the influence of particle generation and the temperature distribution are reported, and these characteristics are compared with those of conventional system.
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