勾配磁気雑音に対応したアクティブ磁気シールドシステムの開発
複数の磁気雑音検出センサとキャンセルコイルを用いて、所望エリア内の勾配磁気雑音を減衰する新たなアクテイィブ磁気シールドシステムを提案した。検出センサとキャンセルコイルの配置により制御定数を算出し、それを用いてキャンセルコイル電流を制御し、勾配磁気雑音を減衰できる解析モデルを考案した。解析モデルと同等の実験装置を製作し、周波数特性、距離特性、減衰分布特性を確認した。磁気シールドが必要な機器の周囲に磁気雑音検出センサおよびキャンセルコイルを配置することで、機器周辺の勾配磁気雑音を5/100に減衰させ、次世代半導体製造施設への対応が可能であることが確認できた。
Development of Active Cancellation System for Gradient Magnetic Noise
This paper describes a method for decreasing the gradient magnetic noise in a specific area through the use of multiple magnetic noise detection sensors and cancellation coils. The invariable that decided by the position of the detection sensors and the cancellation coils controls the electric current of the cancellation coils. Analysis revealed the characteristics of the decreased magnetic noise and an experiment confirmed them. The sensors and coils can be arranged around a device to decrease its gradient magnetic noise.
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