活性炭系ケミカルフィルタの性能評価と性能向上に関する研究
半導体や液晶工場などのクリーンルーム製造環境で使用されている薬液成分に対する活性炭系ケミカルフィルタの除去性能を評価し、PGMEAおよび混合成分の吸着挙動を示した。また、クリーンルーム内で使用可能な活性炭の低発塵化の方法を考案し、発塵を低減した樹脂コート活性炭を開発した。さらに、低発塵化した活性炭を使用したケミカルフィルタを開発し、工業用クリーンルームに設置して性能検証を行い、清浄度がISOクラス2以下で十分な除去性能を有していることを示した。
A Study on Evaluating and Improving the Performance of Activated Carbon Chemical Filters
We evaluated the performance of activated carbon chemical filters in removing PGMEA and other chemical mixtures that are used in cleanroom production environments such as semiconductor and liquid crystal display factories. In this paper, we discuss the adsorption properties of these chemical mixtures, propose a method for reducing the generation of activated carbon particles for usable in cleanrooms, and describe the development of resin-coated activated carbon for reducing the generation of these particles. We also describe the development of a chemical filter containing resin-coated activated carbon, its installation in an industrial cleanroom, and its performance. We show that the density of genetated particles in the air was lower than the standards stipulated in ISO class 2, thereby verifying the filer’s effectiveness.
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