工業用クリーンルームにおけるガス状有機化合物の湿式浄化に関する研究
我々はクリーンルーム由来の有機、酸性、塩基性ガスの処理に湿式浄化方法が有用であることを明らかにしてきた。ここでは、6種類の有機ガスの除去の可能性を評価するために、3つの実験方法を検討した。検出下限は、バイアル試験で8.2×10-3mgC/L、三角フラスコ試験で8.2×10-5mgC/L、ガス洗浄瓶試験で 3.3×10-6mgC/Lであった。気相濃度を液相濃度で除した気液分配率は、イソプロパノールや1－メトキシ－2－アセトキシプロパンの値がジメチルスルホキシドのそれよりずっと大きく、物質ごとに大きく異なっていた。温度と気相濃度は指数関係にあり、有機ガスの溶解はヘンリーの法則にほぼ従う物理的なものであった。
Removal of Gaseous Organic Compounds from Industrial Cleanroom by Wet Type Air Cleaner
We previously reported that wet type air cleaner is expedient forthe treatment of organic, acid, and basic gas. In this study, weexamined three experimental methods in order to evaluate the possibilities of removing six organic compounds. Lowest detection limits are 8.2×10-3mgC/L with the vial method, 8.2×10-5mgC/L with the Erlenmeyer flask method, and 3.3×10-6mgC/L with the impinger method. The gas-liquid division rate (gas phase concentration/liquidphase concentration) of isopropanol and 1-methoxy-2-acetoxypropaneare much higher than that of dimethyl sulfoxide. The relationship between temperature and gas phase concentration is exponential. The water solubility of organic compounds conforms to Henry's law.
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