分子汚染フリークリーンルーム用構成材料に関する研究
クリーンルーム構成材料の中でコンクリートおよび、コンクリート用エポキシ樹脂系塗床材を取り上げ、アウトガス(主にアンモニア)の発生を抑制する目的で、ガスの発生機構および材料の改良を実験的に検討した。その結果、以下の知見を得た。
- コンクリートからのアンモニアの発生の原因物質はセメントに使用される増量材の高炉スラグ、石灰石、フライアッシュや凝結調節剤の石膏および骨材表面の含窒素化合物と考えられる。抑制方法としては、例えば、添加材の少ない早強ポルトランドセメントの使用や表面の含窒素化合物を除去した骨材の利用が有効であり、発生量を1/10程度に低減することが可能である。
- コンクリート用エポキシ樹脂系塗床材において、硬化剤中のフリーアミン量を低減し希釈剤として反応性希釈剤を用いることによって、硬化後の塗膜からのアンモニア発生量を低減できる。これらを塗布することによって、コンクリートからのアンモニアの発生速度を1/10以下に抑制することが可能である。
Study on Clean Room Constituent Materials for Molecular Contaminant Free Clean Room
In order to reduce ammonia gas emissions from concrete and epoxy resin concrete floor coating, we investigated experimentally the mechanism of ammonia gas emission and the methods of reducing the gas emission rate from concrete and hardened epoxy resin. As a result, in the case of concrete, it was observed that the ammonia-causative materials in concrete were blast furnace slag, lime stone and fly ash, (which are additives used in cem-ent), gypsum (used for setting time control of cement) and nitrogen compounds on the surface of aggregates. The use of high-early-strength portland cement, which contains little blast furnace slag, lime stone and fly ash, and aggregates which have had nitrogen compounds removed from their surfaces enable ammonia gas emission to decrease to about 1/10. In the case of epoxy resin floor coating, the ammonia gas emission rate from hardened paint film can be reduced by reducing the amount of free amine in the curing agent and using a reactive diluent. Furthermore, it was possible to limit the ammonia gas emission rate of concrete coated with the improved epoxy resin paint to less than 1/10 as compared with that of concrete without coating.
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